在半導體製程中，Shower Head（淋噴頭）是等離子體蝕刻機（Plasma Etcher）或化學氣相沉積機（CVD）中常見的重要元件之一，其名稱來自於它的外型與功能類似浴室的淋浴頭。
雖然外觀看起來酷似淋浴花灑，但Shower Head的價格卻高達四十萬以上。其高昂成本的根本原因，正是源自於極為嚴苛的加工要求──表面分佈著數以千計的微孔，不僅對孔徑精度與一致性提出極高標準，同時對孔內壁的光潔度和無瑕疵程度也有近乎苛刻的要求。
Shower Head，蘊藏商機卻對製程要求嚴苛
根據Techcet預測，2023年全球半導體用Shower Head市場規模約為25億美元，預計到2028年將增長至35億美元，複合年增長率(CAGR)達6.9%，這主要得益於先進製程晶片（如3nm及以下）對薄膜沉積製程要求的提高，以及3D NAND記憶體層數增加對高品質薄膜的需求。
在Shower Head中使用最廣泛的金屬材質是鋁合金，因為具有良好的導熱性能，同時具有強大的抗腐蝕性。非金屬Shower Head的材質包括碳化矽（CVD-SIC）、單晶矽、石英玻璃和高純度陶瓷等。
在晶圓反應過程中，氣體擴散板表面密佈微孔（孔徑0.2-6 mm），特種製程氣體需經過精密設計的孔道結構及氣體路徑，再經過氣體擴散板上成千上萬個小孔後均勻沉積在晶圓表面，晶圓不同區域的膜層需確保高度均勻性和一致性。
因此，氣體擴散板除了對潔淨度、耐腐蝕性有極高要求外，對氣體擴散板上的小孔孔徑一致性、小孔內壁毛刺也有嚴苛要求，如孔徑尺寸公差和一致性標準差過大或任一內壁存在毛刺，則會導致沉積膜層厚度不一，進而直接影響設備製造良率。
微小徑鑽頭專家ATOM，以極致精密挑戰微孔加工難題
如何實現Shower Head這一高階半導體細分領域關鍵元件的極致微孔加工需求？
微小徑鑽頭專家—日本ATOM，專為Shower Head（鋁合金材質）等極致微孔加工挑戰推出兩大高性能系列產品，助力半導體相關領域高效突破微孔加工挑戰！
定點引導鑽NC：精準定位，從「孔」開始
專為高精度、小直徑導孔（定位）而設計，適用於對孔位精度要求極高的應用場景。
（1）加工範圍Ø0.02mm~Ø3.0mm，滿足各種微小孔定位需求。
（2）提供120°和90°兩種鑽尖角，兼顧精準定位與倒角加工。
（3）搭配3.0mm和3.175mm的刀柄。
（4）適用於鋼材、PEEK工程塑膠、非鐵金屬及樹脂等材質。
（5）全日製一體成型全鎢鋼材質，採用TiAlN塗層，HRA硬度約為90，耐磨穩定。
從上圖可以清楚看到，在未使用 ATOM-NC定點鑽的情況下，直徑 1.6mm的加工中出現了明顯的表面振動和同心度偏移；而使用ATOM定點鑽後則顯著改善。別看只是一個小小的預定位步驟，卻直接關係到後續微孔加工的穩定性與精度，忽略它，甚至可能導致整件工件報廢，造成不必要的損失。
類鑽塗層鑽頭DLC：耐磨護刃，效率提升
（1）採用亮光塗層技術(DLC Shine Coating)，具備超高硬度（sp³值高達60GPa），顯著延長刀具壽命。
（2）低摩擦係數的超薄塗層，有效防止切屑黏附，降低切削阻力，提升排屑效果。
（3）最小徑Ø0.1至Ø1.0，每隔Ø0.01mm一個標準規格。
（4）適用於鋁合金、銅等非鐵金屬材質。
ATOM也可客製化中心出水鑽頭，您只需告知孔徑、深度及加工工件材質等資訊，我們將為您提供最適合的解決方案！應用於Shower Head加工時，ATOM微鑽能大幅提升排屑效率，同時顯著改善孔壁粗糙度，達到更光滑的加工表面。
經過反覆驗證，ATOM兩大系列憑藉卓越的耐磨性能和超長刀具壽命，即使在大批量微孔加工中，也能保持極低的刀具磨損，確保微孔孔徑一致性高，加工表面光潔度優異，充分滿足鋁合金材質Shower Head對極致加工品質的嚴苛要求。
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岳崴科技：以世界頂級技術，助力精密孔加工再升級
岳崴科技是日本ATOM品牌在台灣的總代理，專注於高品質微小徑刀具的推廣與服務。依托ATOM原廠強大的製造與品控能力，以及岳崴科技在物流供貨與技術支援方面的優勢，現可提供包含標準鑽頭ADR、標準塗層鑽頭ADR-SV、定點鑽NC、去屑鑽頭ASWR/ ASWD、類鑽石塗層鑽頭ADR-DLC、同柄徑鑽頭ADS以及十字槽系列鑽頭SXG等多個系列在內的豐富產品線，全面滿足各類高精密微孔加工需求，協助客戶實現加工品質與效率的雙重提升。
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岳崴科技擁有豐富的現貨庫存，可支援ADR標準鑽頭系列以及ADR-SV標準塗層鑽頭系列Ø0.02mm~ Ø1.0mm（每Ø0.01mm一個標準規格）的現貨供應。
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岳崴科技擁有20多年微細孔加工技術服務經驗，不僅為客戶提供專業的需求分析和應用建議，更可依托強大的供應鏈優勢幫助客戶實現標準鑽頭一周內現貨交付。
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